線切割機用于減速器關鍵零組件的切割加工,具備長期穩(wěn)定的高精度加工性能,可使減速器的關鍵零組件在淬火后的半精加工后余量控制在微米級,大幅提高了末段工藝設備的產能,進而有助于降低減速器在量產過程中對部分國外進口機床的被動依賴。 是通過纏繞在主軸上的金剛線高速往復運動,將半導體等硬脆材料同時切割為數百片薄片的切割加工方法。已逐漸取代了內圓切割,成為半導體磁材、硅片、寶石等切割加工的主要方式,有高精度、高速度、低損耗等優(yōu)點。
控制系統(tǒng)中張力控制、收放線電機和主電機的同步運行是控制的關鍵技術。一般多線切割機都配備有主軸電機、收線電機、收線排線電機、收線張力電機、放線電機、放線排線電機、放線張力電機、工作臺升降電機等,早期的控制系統(tǒng)一般都是采用臺達的DVP10MC11T,它是基于現場總線的多軸控制器,它遵循基本通訊協(xié)議和DSP402運動控制協(xié)議,支持大部分運動控制標準指令庫。
特點:
(1)hct-b6多線切割設備集成了化學、物理、機械、電氣等方面技術。
(2)擁有高精度4軸排線導輪驅動裝置技術。增大了切割能力。
?。?)切割進給伺服系統(tǒng)。配合線絲張力自動控制系統(tǒng)的作用,保證在不斷絲條件下實現切割的高效性。
?。?)使用漿料回收系統(tǒng),漿料可直接從漿料缸取出回收利用。節(jié)省了大部分的漿料成本。
?。?)片厚平均厚度誤差小,適合大規(guī)模制造。
在切割時,主軸電機先正轉一段距離(設為A米),然后再反轉一段距離(設為B米),根據實際情況,0.5M<A-B<1.5M,保證在多次往復運動中,將新的切割線逐漸放出,已使用的切割線逐漸收回。在主軸運行的同時,收放線電機要保持與主軸電機的線速度同步。由于在運行中,收放線輪的直徑會一直變化,如果不調整收放線電機的旋轉速度,主軸上的線速度和收放線輪上的線速度偏差會越來越大,將會拉斷切割線,此時,需要要根據張力輪的位置,去實時調整收放線電機的旋轉速度,這是整個控制系統(tǒng)中最為關鍵的地方。
線切割機晶片的彎曲度(bow)小,翹曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好??偤穸裙钚。═TV)小,片間切割損耗少,加工晶片表面損傷層淺,粗糙度小,切片加工出片率高,生產效率高,投資回報呂高。
因此,應用線切割機是發(fā)展規(guī)模化生產和提高生產效率的必然選擇,使用多線切割機加工各類晶片是必然趨勢,特別適用于太陽能光伏電池超薄機基片的批量加工。